A mérési tartományhoz hasonlóan a mérési pontosság az érzékelők egyik legfontosabb mutatója. Minden százalékpontos javulás jelentős előrelépést jelent az érzékelő számára, még az osztálybeli változást is. Ennek az az oka, hogy a gyártási költségek és az eladási árak nagymértékben eltérnek a kívánt pontosságtól függően. Például egy olcsó importált páratartalom-érzékelő csak néhány dollárba kerül, míg a kalibráláshoz szükséges teljes tartományú páratartalom-érzékelő több száz dollárba,-ez a különbség közel százszoros. Ezért a felhasználóknak sajátos igényeik szerint kell választaniuk, és kerülniük kell a "csúcskategóriás, precíz és élvonalbeli" érzékelők vakon való követését-.
A gyártók gyakran szegmensekben biztosítják páratartalom-érzékelőik pontosságát. Például ±2%RH a közepes és alacsony páratartalmú tartományhoz (0-80%RH), és ±4%RH a magas páratartalmú tartományhoz (80-100%RH). Ezenkívül ez a pontosság egy adott hőmérsékleten (pl. 25 fok) alapul. Ha a páratartalom-érzékelőt különböző hőmérsékleteken használják, a leolvasásnak figyelembe kell vennie a hőmérséklet-eltolódás hatását is. Mint ismeretes, a relatív páratartalom a hőmérséklet függvénye, a hőmérséklet pedig jelentősen befolyásolja az adott tér relatív páratartalmát. Minden 0,1 fokos hőmérsékletváltozás 0,5%-os relatív páratartalom-változást eredményez (hiba). Ha az alkalmazási környezetben nehéz állandó hőmérsékletet elérni, a túlzottan magas páratartalom mérési pontosság megkövetelése nem megfelelő. Mivel a páratartalom a hőmérséklet változásával ingadozik, értelmetlenné válik a magas páratartalom mérési pontosság megvitatása. Ezért a páratartalom szabályozásához a hőmérséklet-szabályozás a legfontosabb, ezért az integrált hőmérséklet- és páratartalom-érzékelőket széles körben használják, nem pedig egyszerűen páratartalom-érzékelőket.
A legtöbb esetben, ha nem áll rendelkezésre pontos hőmérsékletszabályozás, vagy a mért tér nincs lezárva, ±5% RH pontosság elegendő. Az állandó hőmérséklet és páratartalom pontos szabályozását igénylő alkalmazásoknál, vagy ahol a páratartalom változásának folyamatos figyelése szükséges, ±3% RH-t kell választani.
